Цифровой вакуумметр Aosong AGP3000 на основе технологии MEMS заменяет вакуумметр Infkon PSG500.

​​1. 测量范围​​

• ​​AGP3000​​：
  • 气体类型：氮气（N₂）和空气
  • 范围：5×10⁻² Pa ~ 1.2×10⁵ Pa（分三段误差）
• ​​PSG500​​：
  • 气体类型：空气、O₂、CO、N₂等
  • 范围：5×10⁻⁴ mbar ~ 1000 mbar（约5×10⁻² Pa ~ 10⁵ Pa）

​​2. 精度与重复性​​

• ​​AGP3000​​：
  • 氮气环境下：
    • 1×10⁻¹~1.5×10⁴ Pa：±15%读数；
    • 1.5×10⁴~1.2×10⁵ Pa：±0.5%读数
       
  • 重复性：±2%读数
     
• ​​PSG500​​：
  • 氮气环境下：
    • 1×10⁻³~100 mbar：±15%读数；
    • 5×10⁻⁴~1×10⁻³ mbar：±50%读数
       
  • 重复性：±2%读数
     

​​3. 响应时间​​

• ​​AGP3000​​：≤100 ms
   
• ​​PSG500​​：80 ms
   

​​4. 工作温度与环境适应性​​

• ​​AGP3000​​：0~40℃（外壳为铝材质）
   
• ​​PSG500​​：5~60℃（不锈钢传感器室，可耐250℃烘烤）
   

​​5. 输出接口与通信​​

• ​​AGP3000​​：
  • 模拟输出：0~10 V DC（线性对应压力值）
     
  • 数字通信：RS485（Modbus RTU协议），支持多设备总线连接
     
• ​​PSG500​​：
  • 模拟输出：0~10.3 V DC（对数输出，1.286 V/量级）
     
  • 数字通信：无内置协议，需通过外部控制器（如INFICON专用设备）
     

​​6. 电源与功耗​​

• ​​AGP3000​​：9~28 V DC，功耗<1.2 W
   
• ​​PSG500​​：14~30 V DC，功耗<1 W
   

​​7. 其他特性​​

• ​​AGP3000​​：
  • 配备TFT-LCD彩屏，支持单位切换（Pa/Torr/mbar）
     
  • 压力接口为KF16法兰，可选转接件（如KF25、VCR等）
     
• ​​PSG500​​：
  • 灯丝材质为钨或镍（抗腐蚀型号PSG502-S）
     
  • 支持触点继电器输出（部分型号）
    
    

​​总结​​

AGP3000优势在于宽范围数字通信和直观显示，适合中低真空精密控制；PSG500则侧重高温环境稳定性和对数输出，适用于半导体等工业场景